Gelişmiş çözünürlüğü, daha büyük boyutları ve yarıya indirilmiş pozlama alanı ile High-NA tarayıcıların benimsenmesi, yeni fotorezistlerin, metrolojinin, pelikül malzemelerinin, maskelerin, denetim araçlarının geliştirilmesini ve hatta belki de yeni fabrika kabuklarının inşa edilmesini gerektiriyor. Özünde, High-NA araçlarına geçiş, yeni araçlara ve destekleyici altyapıya önemli yatırımlar gerektirecektir, bu nedenle benimseme basit olmayacak. Dolayısıyla High-NA EUV makinelerine yönelik “pahalı” eleştirisi çok yüzeysel kalıyor. Çünkü High-NA EUV geleceğin ürünüdür. Yani mevcut tesisteki makineyi kaldıralım bu yenisini koyalım yaklaşımı yok. Tüm üretim süreçleri değişmeli veya tamamen yeni fabrikalar inşa edilmeli. Dolayısıyla High-NA EUV’nin finansal olarak uygun olup olmadığı sorusu, kaç yonga üreticisinin bu araçları ne zaman üretime sokacağını görene kadar cevaplanamayacak.